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半導體行業的廢氣處理

  半導體行業的廢氣處理 
  隨著科技的發展,目前市場上新材料行業與傳統材料相比,其應用范圍更廣了,新材料產業的研究與開發投入高,產品的附加值高在生產與市場的***際性強,而且新材料半導體行業的發展前景***。 
 
  而新材料半導體行業在加工的過程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑,這些溶劑中含有***量的有機物成分,在整個工藝加工的過程中將會有部分的有機溶劑***部分通過揮發成為廢氣排放,這部分揮發的廢氣主要成分為具有揮發性的VOCs,下面講解一下關于:新材料半導體行業的廢氣應該怎么處理。
 
  新材料半導體行業的廢氣除了含有VOCs以外,還混有HCl、氨、HF等危險污染物,宏森環保采用的是RTO蓄熱式焚燒爐來處理半導體行業的廢氣:
 
  工業廢氣中主要含有酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體四種,自身具有的溶解***性,半導體工業的氣體雖然排放量***,但是氣體的濃度低。
 
  RTO設備采用的是高溫破壞焚燒的廢氣治理技術,升溫能源一般是電和天然氣,其高溫需高達700度或者以上,雖然溫度需高達700度左右,但是其實消耗的能源并不多,設備運行期間部分的熱能是能夠回收重新利用的,降低能量消耗的同時提高了廢氣分子的燃燒反應速率。

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